中微惠創科技（上海）有限公司（簡稱“中微惠創”）為中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）的全資子公司，于2014年12月在上海臨港注冊成立。中微惠創著力于泛半導體行業的環保設備、新能源等領域產品的研發、生產和銷售。中微惠創面向電子工業開發設計的VOC（揮發性有機氣體）處理設備已廣泛用于改善面板顯示行業生產線的潔凈室工作環境；中微惠創生產制造的國產化Scrubber設備將應用于集成電路、面板顯示、LED與太陽能行業等。