中微具有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔，可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現優異的生產靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備。