本設備用于處理半導體光伏面板等行業生產制程中都會產生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進入設備后在反應腔內被分解成無害成分，經過水淋和顆粒捕捉后能達到安全的排放標準。
本設備通過等離子發生器結合氮氣產生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設備設計有專用的粉塵沖洗式反應腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。